（SF6）プラズマを用いた新しいイオン源技術を開発

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投稿者 倉田佳典 日時 1998 年 12 月 18 日 16:00:36:

この辺、疎いんですけど、、（^-^;
一応、紹介。
1998年12月17日

　日本原子力研究所（理事長　松浦祥次郎）高崎研究所は、これまでイオンビームとして取り出すことが困難であったニオブ（Nb）やモリブデン（Mo）等の高融点金属及びボロン（B）やシリコン（Si）等の半導体を構成する元素を、固体から直接かつ容易にイオン化する六フッ化硫黄（SF6）プラズマを用いた新しいイオン源技術を開発した。

• 日本原子力研究所

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