2004年7月6日

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【アドテック　プラズマ　テクノロジー】7月26日に新規上場予定のハイテク企業7月26日（月）に東証マザーズへ新規上場予定のハイテク企業、アドテック　プラズマ　テクノロジー（6668）の概要に関してお伝えしよう。

■シャープ福山工場の設備保守を契機にプラズマ用高周波電源の開発へ広島県福山市で1985年に設立された当初は電機温水器用制御装置を製造していたが、やがてシャープ（6753）福山工場（デバイス関連事業ＩＣ事業本部の福山事業所。1985年に第1期工事が完成）の製造設備の保守に携わった折、工場内に約600台あるプラズマ用高周波電源が当時は年1回は反射波電力のため故障していることを知った。この電源は前工程向けの半導体製造装置に組み込まれ、ガスをプラズマ（電離）状態にし化学反応を起こし、生成物を半導体ウエハ上に堆積させ薄膜を形成させるための装置。この装置が故障すると、そのたびに直径200ミリウエハの場合、薄膜形成中だったウエハ、工程の段取り替えの費用、電源装置の修理、稼働再開後の半導体製造装置の調整に用いるダミーウエハなどで250万円の損失が発生するという。

■最後発ながら独自の電子回路で国内首位・世界では第3位へアドテック　プラズマ　テクノロジーは、反射波電力に耐久力の大きい独自の電子回路を開発することで、故障率を低減させたプラズマ用高周波電源の製造に成功した。なかなか新規参入に障壁の高い分野であるにも関わらず、あたかも「富山の置き薬」のようにまず無償で製造ラインに置いて試してもらうという手法で、半導体生産ラインに自社製の電源装置を浸透させていった。かくて最後発でありながら国内首位、世界でも米国アドバンスト・エナジーと米国ＭＫＳに次ぐ第3位の座を占めるに至っている。（2004年7月6日）

『マルテックス・インベスター』編集部

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